Record Details

Химико-механическое полирование полупроводников типа АІІІВV бромвыделяющими растворами

Zhytomyr State University Library

View Archive Info
 
 
Field Value
 
Relation http://eprints.zu.edu.ua/17679/
 
Title Химико-механическое полирование полупроводников типа АІІІВV бромвыделяющими растворами
 
Creator Томашик, З. Ф.
Шелюк, І. О.
Томашик, В. М.
Окрепка, Г. М.
Чернюк, О. С.
Денисюк, Р. О.
Моравец, П.
 
Subject QD Chemistry
 
Date 2010
 
Type Article
PeerReviewed
 
Format text
 
Language uk
russian
 
Identifier http://eprints.zu.edu.ua/17679/1/A3B5_Br-vydil_%D0%92%D0%A5%D0%A5%D0%A2_2010_4.pdf
Томашик, З. Ф. and Шелюк, І. О. and Томашик, В. М. and Окрепка, Г. М. and Чернюк, О. С. and Денисюк, Р. О. and Моравец, П. (2010) Химико-механическое полирование полупроводников типа АІІІВV бромвыделяющими растворами. Вопросы химии и химической технологии (4). pp. 119-122. ISSN 0321-4095