Влияние быстрого термического отжига и СВЧ на удельное сопротивление омических контактов к InP и GaAs
Zhytomyr State University Library
View Archive Info| Field | Value | |
| Relation |
http://eprints.zu.edu.ua/10534/
|
|
| Title |
Влияние быстрого термического отжига и СВЧ на удельное сопротивление омических контактов к InP и GaAs
|
|
| Creator |
Ткаченко, А. К.
Новицкий, С. В. Шеремет, В. Н. |
|
| Subject |
QC Physics
TK Electrical engineering. Electronics Nuclear engineering |
|
| Description |
В статье идет речь об влиянии быстрого термического отжига и СВЧ на удельное сопротивление омических контактов к InP и GaAs
|
|
| Publisher |
Мордовский государственный педагогический институт им. М. Е. Евсевьева
|
|
| Date |
2012-05
|
|
| Type |
Article
PeerReviewed |
|
| Format |
text
|
|
| Language |
uk
russian |
|
| Identifier |
http://eprints.zu.edu.ua/10534/1/%D0%9D%D0%BE%D0%B2%D0%B8%D1%86%D0%BA%D0%B8%D0%B9.pdf
Ткаченко, А. К. and Новицкий, С. В. and Шеремет, В. Н. (2012) Влияние быстрого термического отжига и СВЧ на удельное сопротивление омических контактов к InP и GaAs. Материалы конференции. [Международная научно-техническая конференция «Фундаментальные и прикладные проблемы физики»], (Саранск, Россия, 28—30 мая, 2012 г.), 1. pp. 68-72. |
|