Влияние термо- и микроволновой обработок на свойства омических контактов к n-n+-n++-InP(GaAs, GaN)
Zhytomyr State University Library
View Archive Info| Field | Value | |
| Relation |
http://eprints.zu.edu.ua/10519/
|
|
| Title |
Влияние термо- и микроволновой обработок на свойства омических контактов к n-n+-n++-InP(GaAs, GaN)
|
|
| Creator |
Беляев, А. Е.
Болтовец, Н. С. Иванов, В. Н. Конакова, Р. В. Кудрик, Я. Я. Миленин, В. В. Новицкий, С. В. Шеремет, В. Н. |
|
| Subject |
QC Physics
TK Electrical engineering. Electronics Nuclear engineering |
|
| Description |
Исследовано влияние быстрой термической обработки и микроволновой обработки на межфазные взаимо- действия и удельное контактное сопротивление в омических контактах к InP (GaAs, GaN) с использованием бо- ридов тугоплавких металлов в качестве диффузионных барьеров. Во всех трех типах образцов буферные свойст- ва слоя TiBx, являющегося аморфным оксиборидом титана, сохраняются при температурах, в 2,4 раза превы- шающих рабочие для GaAs, в 3 раза – для InP и в 2,3 раза – для GaN (при рабочей температуре прибора 300 °С). Микроволновая обработка контактных структур к n-GaN привела к упорядочению слоевой структуры контакт- ной металлизации и уменьшению разброса величины ρс. |
|
| Publisher |
Томский государственный университет
|
|
| Date |
2011
|
|
| Type |
Article
PeerReviewed |
|
| Format |
text
|
|
| Language |
uk
russian |
|
| Identifier |
http://eprints.zu.edu.ua/10519/1/14.pdf
Беляев, А. Е. and Болтовец, Н. С. and Иванов, В. Н. and Конакова, Р. В. and Кудрик, Я. Я. and Миленин, В. В. and Новицкий, С. В. and Шеремет, В. Н. (2011) Влияние термо- и микроволновой обработок на свойства омических контактов к n-n+-n++-InP(GaAs, GaN). Известия вузов. Физика (1-2). pp. 74-77. |
|