Хімічна взаємодія монокристалів GаАs, GаSb, InAs та ІnSb з водними розчинами Н2О2–HBr
Zhytomyr State University Library
View Archive Info| Field | Value | |
| Relation |
http://eprints.zu.edu.ua/8658/
|
|
| Title |
Хімічна взаємодія монокристалів GаАs, GаSb, InAs та ІnSb з водними розчинами Н2О2–HBr
|
|
| Creator |
Шелюк, І. О.
Томашик, З. Ф. Томашик, В. М. Стратійчук, І. Б. Денисюк, Р. О. |
|
| Subject |
QD Chemistry
|
|
| Description |
Досліджено хімічну взаємодію монокристалів GаАs, GаSb, InAs, InAs (Sn) та ІnSb з водними розчинами Н2О2–HBr. Встановлено залежність швидкості їх розчинення від складу травників, перемішування, температури та визначено лімітуючі стадії процесу розчинення. Оптимізовано склади поліруючих травників і режими хіміко-динамічного полірування поверхні вказаних напівпровідникових матеріалів.
|
|
| Publisher |
Прикарпатський національний університет ім. Василя Стефаника
|
|
| Date |
2011-03-15
|
|
| Type |
Article
PeerReviewed |
|
| Format |
text
|
|
| Language |
uk
ukraine |
|
| Identifier |
http://eprints.zu.edu.ua/8658/1/C_10_Shelyuk_Tomashyk_G%5B1%5D.pdf
Шелюк, І. О. and Томашик, З. Ф. and Томашик, В. М. and Стратійчук, І. Б. and Денисюк, Р. О. (2011) Хімічна взаємодія монокристалів GаАs, GаSb, InAs та ІnSb з водними розчинами Н2О2–HBr. ФІЗИКА І ХІМІЯ ТВЕРДОГО ТІЛА, 12 (2). pp. 411-415. ISSN 1729-4428 |
|